삼성전자, 반도체 협력사에 “AI로 장비 고장·오류 사전 대응” 주문...장비업계 기술 전략 바뀌나

ETNews (KR)October 14, 2026ko

삼성전자가 국내외 주요 반도체 장비 협력사에 제조 공정 내 인공지능(AI) 적용을 주문했다. 반도체 장비 오류·결함을 사전에 파악, 인적 개입을 최소화하고 생산성을 대폭 끌어올리려는 시도다. 14일 업계에 따르면 삼성전자 DS부문은 주요 반도체 장비 협력사와 AI 기능 강화를 위한 협의에 착수했다. 어플라이드 머티어리얼즈·ASML·램리서치·도쿄일렉트론(TEL)·KLA 등 세계 상위 5대 장비사와 국내 핵심 협력사가 협의 대상에 포함된 것으로 알

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